【硅片清洗机】中的超声波清洗缺点

超声波清洗缺点：

                       1. 超声波对颗粒大小不同的污染物的清洗作用不一样，颗粒尺寸越大，清洗作用越好；

                       2. 但是颗粒尺寸变小时，清洗作用不佳，对于粒径只有零点几微米的颗粒，需要利用兆声清洗才能去除；

                       3. 在空穴泡爆破的时候，能量会对硅片造成一定的损伤。