EPI外延部件清洗机

高效清洗能力：采用超声波清洗原理，结合DIW（去离子水）喷淋方式，能够高效去除EPI外延部件表面的污垢、油脂和微粒等污染物。

精确控制：通常采用PLC控制和软件多重互锁，确保了清洗过程的稳定性和高效性。操作者可以通过触摸屏或按钮轻松设置清洗参数。

安全性高：设备设计有排风系统和漏液检测系统，便于维护并提高了设备的安全性和可靠性。同时，一些设备还配备急停按钮，以便在紧急情况下迅速停止操作。

结构紧凑：结构设计紧凑，占地面积小，便于放置在生产线上。

兼容性好：对大多数金属材料安全无腐蚀，且所选用的表面活性剂可生化降解，对环境安全。

自动化程度高：全自动的工作方式大大提高了生产效率，减少了人工干预。

多工艺兼容：支持湿法（化学/超声波）与干法（等离子）清洗组合，适应不同污染物类型。

颗粒控制：配备纳米级颗粒过滤器（如0.1μm），防止二次污染。