清洗是指清除工件表面的液体和固体的污染物

硅片清洗机      

清洗是指清·除工件表面上液体和固体的污染物，使工件表面达到一定的洁净程度。清洗过程是清洗介质、污染物、工件表面三者之间的相互作用，是一种复杂的物理、化学作用的过程。清洗不仅与污染物的性质、种类、形态以及粘附的程度有关、与清洗介质的理化性质、清洗性能、工件的材质、表面状态有关，还与清洗的条件如温度、压力及附加的超声振动、机械外力等因素有关。因此选择科学合理的清洗工艺，必须进行工艺分析。浸渍清洗

在清洗槽中加入清洗液，将被洗物浸渍其中的清洗方式。由于仅靠清洗液的化学作用清洗，所以洗涤能力弱，需要时间长。循环清洗液。 

 喷气清洗

在清洗槽内安装喷气管（多个吸管），用气体将清洗液喷射到被洗物上的清洗方式。压力为20kg/cm 2 以上。 

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 喷流清洗

从槽的侧面将清洗液在液相中喷出，靠清洗液的搅拌力 （物理作用）促进洗涤。洗涤能力比浸渍清洗强。 

 刷洗

在清洗腔室安装刷子、工件有专门的支承或夹具，在清洗剂浸渍或淋润的同时，主要靠刷子与工件的机械摩擦力进行清洗，作为初级清洗，效·果直接。 

 超声波清洗

在清洗槽内安装超声波振子，产生超声波能量（树千个大气压的冲击波），将被洗物全部清洗的方式。 

 喷淋清洗

在清洗槽内安装喷淋管 ，在气相中将清洗液喷射到被清洗物上，压力不足kg/cm 

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