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【硅片清洗机】除水垢的方法

发布日期:2021-08-27 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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硅片清洗机】除水垢的方法


1、采用酸性清洗剂(器械除锈剂就是酸性的),需要注意的是:

①有些酸性清洗剂是草酸、柠檬酸等,选用磷酸;

②严禁使用盐酸、硫酸、硝酸等强酸,以免损坏设备。

2、用喷壶(洗车器)将适当浓度的酸性清洗液喷洒在设备表面,保持设备具有的温度(60-70℃,注意烧伤!)关闭舱门,5-10分钟后用棉布擦拭器壁。

3、用大量清水冲洗设备四周,并将冲洗水迅速排放。注意!!请预先打开设备底部的排水阀,以免积聚的酸性液体腐蚀阀门,这一步很重要!

4、顽固性锈渍可以用纱布蘸少量除锈剂擦拭。

5、清洗锈渍后使用时会出现黑色物质,不要紧张,再次冲洗、擦拭干净即可(这些黑色物质是在轨道缝隙处的残留)。

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