硅片清洗机的安装解析

    　硅片清洗机为手动方式实现放件、取件，槽体间传送件。设备形式为室内放置型。腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性。工艺参数（温度、时间、清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域。药液供给及补液方式为分体式CDS自动供液系统。DI槽配有在线式水质检测装置；配有分体式废液回收系统。

　　硅片清洗机的安装解析：

　　参照清洗机安装说明书连接清洗机的电控柜与主机间的温控传感器信号线、超声驱动线、加热器控制线等线路，安装清洗机的上水管、放水管与溢流排放管。清洗机零件摆放将零部件置于钢筋料筐中轻轻放入清洗池内，当一次性放入的零件很多时，应尽量使它们在料筐中均匀分布，不相重叠。

　　硅片清洗机的开机：

　　清洗机正常工作时，超声波由三个方向同时发射，按下侧超声启动，两侧的超声波即己启动，向右旋转功率调节旋钮，按下侧超声启动，并将其旋至合适的功率，此时LED显示器显示当前底部超声工作功率值。

　　硅片清洗机的停机：

　　在清洗过程中若要停机，应先将功率旋钮调至最小。再按下停止底超声。清洗时间根据清洗表面情况掌握。