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【硅片清洗机】的技术原理

发布日期:2021-03-22 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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硅片清洗机】的技术原理


1.标配系统版本设置有四个不同的结构尺寸,可适用于各种工件尺寸

2.模块化系统结构:清洗--漂洗--干燥

3.清洗过程可按照工件的脏污度进行相应调整

4.手动或自动给料流程与现有的传输系统相互连接

5.可选用带式或链式传输机连续或循环传输零部件

6.可调节输送带速度

7.密闭式系统外壳,带有大尺寸检修门,便于工作人员进行维护

8.使用控制系统,支持对工艺步骤自主编程

9.可在工作员控制面板上显示纯文本错误诊断信息

10.与清洗介质接触的零部件选用不锈钢材质或其它防锈材料

硅片



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