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硅片清洗机晶片腐蚀清洗机维护保养

发布日期:2021-02-23 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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晶片腐蚀清洗机维护保养


1、经常检杳液位,及时补充水。


2、表面清洁如新,不能残留污垢。


3、操作者因故离开,关闭电源。


4、发生故障停机,检修中禁止运行。


5、水泵进水口有插板式滤网,1次/周清洗。


6、水泵出口经过滤器的滤袋1次/2周清洗。


7、各传动部分进行检查加油润滑。


8、清洗过滤袋,查看过滤插板是否有损坏。


9、整体接触清洗液水箱部位有无腐蚀侵袭。


10、需检查晶片清洗机端盖铰链是否锈蚀,气缸活塞污垢清除。


11、控制箱门不允许随意开启,要及时关闭,里面电线不能沾水,做好隔离水源保护措施。


12、排除原来的清洗液,清扫沉底的污垢,用水枪清洗水箱。


13、确认检查水箱底部是否老固、腐蚀程度、有无泄漏源和泄漏隐患。


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