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硅片热氧化为什么需要很高的温度
【硅片清洗机】中硅片热处理意义：
①热处理温度要求：650±5℃
②热处理目的：还原直拉单晶硅片真实电阻率；
1、热处理后电阻率会有什么变化 由于氧是在大约1400℃引入硅单晶的，所以在一般器件制造过程的温度范围（≤1200℃）
