【硅片清洗机】的维护

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硅片在清洗过程中，如发现硅片表面颗粒跟金属沾污超标，则需进行如下处理：

1、将各槽中原液排干，用DI水将槽子冲洗一次，然后将槽中水排尽；

2、加入少许（lgallon)DI水，然后加入lgal- lonH2O2，再加入少许DI水，然后加工入lgallonNH4OH，再加DI水到槽满。如果是工艺槽，则让混合液循环2h，否则静置2h；

3、将槽中液排尽，用DI水再次冲洗槽子一次，将槽液排尽；

4、重新对清洗设备进行测试。

5、如果工作过程中遇到的问题，请咨询芯矽科技。

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