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硅片清洗中的沾污杂质来源

发布日期:2020-05-06 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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硅片清洗中的沾污杂质来源

硅片清洗机主要包括以下几方面:

1. 硅片加工成型过程中的污染,

2. 环境污染,

3. 水造成的污染,

4. 试剂带来的污染,

5. 工业气体造成的污染,

6. 工艺本身造成的污染,

7. 人体造成的污染等。

硅片

相关标签: 硅片清洗机

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