苏州芯矽电子科技有限公司
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【硅片清洗机】的正确维护
① 期清理储油箱被污染的清洗液。
② 定期让油泵运转一次，每次最少在10min以上。
③ 清洗机用完后用罩子盖起来，做好防尘和防潮工。
