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芯矽科技突破:自适应晶圆寻边变距定位技术,重塑半导体自动化新标杆

发布日期: 2026-05-13

在半导体制造向高精度、全自动化加速迈进的进程中,芯矽科技凭借自主研发的发明专利——“自适应不同规格晶圆寻边变距定位装置及方法”,以创新性技术突破,为行业解决多规格晶圆处理的核心难题,成为推动产业升级的关键力量。

技术架构:多模块协同,打造精准自动化闭环

该装置以模块化设计为核心,构建起一套高效协同的自动化系统。机架作为稳固基础,搭载承载组件,其正上方的识别组件精准捕捉晶圆信息,为后续操作奠定数据基础。针对不同规格晶圆,装置配备差异化寻边组件:承载组件一侧,六寸寻边组件与八寸寻边组件分工明确,适配不同尺寸需求;八寸寻边组件下方的上顶导板,可精准将八寸晶圆顶升至夹持变距组件;六寸寻边组件旁,晶圆通用导板与六轴机械臂默契配合,负责六寸晶圆的灵活移载。而连接上顶导板与晶圆通用导板的驱动组件,则驱动夹持变距组件移动,保障八寸晶圆变距移载的流畅性,各模块环环相扣,实现全流程无缝衔接。

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核心突破:全流程自动化,破解多规格处理困境

该专利的核心突破,在于实现了从晶舟识别、晶圆寻边到移载的全流程自动化。装置可精准识别六寸与八寸晶舟,并高效完成对应晶圆的寻边操作,彻底摆脱传统设备对人工的依赖。面对六寸晶圆,六轴机械臂与晶圆通用导板协同,完成精准移载;针对八寸晶圆,上顶导板与夹持变距组件联动,实现变距移载,灵活适配不同规格晶圆的处理需求。这种全流程自动化模式,不仅大幅降低人工操作强度,更解决了人工操作易出错、效率低的痛点,让多规格晶圆处理变得高效、稳定。

产业价值:提效保质,赋能半导体制造升级

这项专利的落地,为半导体制造带来显著的产业价值。一方面,自动化操作大幅提升生产效率,减少人工干预带来的时间损耗,让生产节奏更紧凑;另一方面,精准的定位与移载技术,有效规避人工操作失误,显著提高产品良品率,保障生产质量的稳定性。对于半导体企业而言,这意味着能以更低的人力成本、更高的生产效能,应对复杂多变的市场需求,在激烈的行业竞争中抢占先机,为半导体制造的智能化、高效化发展注入强劲动能。

芯矽科技的这一发明专利,以技术创新直击行业痛点,为半导体制造的自动化升级提供了核心支撑,有望引领行业迈向更高效、更精准的发展新阶段。




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