石英清洗机是一台什么样的设备

石英清洗机是一种专门用于清洗石英制品或含有石英部件的设备的专业清洗设备，其核心目的是去除表面的污染物（如油污、氧化层、颗粒物等），以满足高精度行业对洁净度的严格要求。以下是关于石英清洗机的详细介绍：

一、主要类型与原理

超声波清洗机

适用于清洗复杂结构的石英器件（如石英管、光学镜片等）。

可搭配清洗剂（如市水、酸性或碱性溶液）增强去污效果。

原理：通过高频超声波振动（通常40kHz）产生空化效应，形成微小气泡并破裂，从而剥离工件表面的污垢。

特点：

应用：电子零件、精密模具、半导体制造中的石英部件清洗。

真空等离子清洗机

无需化学清洗剂，环保且无残留。

适用于高精度领域（如半导体晶圆、光学镜片）。

原理：在石英腔体内抽真空后，通入气体（如氩气、氧气）并施加高频电场，产生等离子体，通过物理或化学反应去除污染物（如油脂、氧化层）。

特点：

优势：高温耐受性（石英腔体可承受高温）、高洁净度（避免金属污染）。

湿法化学清洗设备

工艺：结合酸洗、漂洗、热风干燥等多道工序，通过化学溶液溶解污染物。

示例：石英管清洗机可能包括超声波清洗→酸洗→水漂洗→热风烘干等流程。

二、核心功能与技术参数

清洗介质

超声波清洗机：市水、专用清洗剂、酸液（如复合酸）等3。

等离子清洗机：氩气、氧气、氮气等工艺气体24。

技术参数

超声波清洗：频率40kHz，功率可达8.4kW，槽体尺寸可根据工件定制（如3200mm×400mm×450mm）。

等离子清洗：射频频率13.56MHz，功率150W（可调），真空范围10-60Pa。

自动化与控制

PLC可编程控制器实现自动上料、清洗、烘干、下料全流程。

触摸屏操作，支持手动/自动模式切换，实时监测真空度、温度等参数。