欢迎光临苏州芯矽电子科技有限公司官方网站!

产品中心

网站首页 > 产品中心 > 化学品供应系统 > CDS - 化学品供应系统

CDS - 化学品供应系统

产品介绍

操作安全:腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑


化学品零污染:与化学品接触部份完全与化学品兼容 


微粒子控制:过滤器循环过滤 


满足最大需求流量:高浓度化学品如H2SO4、 H3PO4 


自动控制操作运转:系统单元与机台界面自动化


取样分析:系统、管路之粒子数、金属离子取样分析


泄漏警报:侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO) 


系统诊断:Pump、Filter 、Valve运转时数 


维修保养管路  


化学品用量统计 


Auto Purge/Flush 功能


相关标签: 硅片清洗机

相关评论:
暂无评论