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CBC - 片架片盒清洗机

产品介绍

通用系统,用于清洁和干燥所有当前类型的片架片盒

SMIF、POD、FOUP、FOSB和托盘

用热去离子水清洗,也可以添加一些洗涤剂

利用IR lamp,同时打开转盘彻底干燥

利用流动的热空气(通过HEPA过滤器过滤)

清洁专用喷嘴

半自动化或全自动化操作

通过触摸屏进行简单操作

可通过密码自由编程的清洁配方和操作级别

可选:SECS/GEM接口射频识别系统



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