全自动槽式清洗机的特点及用途

全自动槽式清洗机的特点及用途1

       全自动槽式清洗机广泛应用于集成电路、MEMS和光伏领域的CMP后清洗工艺。该清洗机可对晶圆片表面、背面、边缘进行清洁。自主创新的兆声清洗技术可以去除附着在晶圆表面的细颗粒污染物，实现去除。可提供多罐化工液体或纯水，结合喷涂、溢流、快速清洗等清洗方式，配合先进的IPA干燥方式，可同时对应25或50件进行工艺处理。

      产品特点

智能、精准的传动控制系统

自动化学品集中供液系统(CDS)

溢液设计，减少液量，降低使用成本

清洗效果强，清洗率≥99%

可扩展多组合清洗工艺

颗粒控制能力，≥0.1μm的颗粒小于15个

药液罐采用双罐设计，可实现准确控温，防止药液泄漏

废液排气独立控制，有效保护人员操作

      应用领域

      集成电路、微机电系统、光伏等

芯矽科技是一家高新技术企业、专·业半导体湿法设备制造公司，主要提供实验室研发级到全自动量产级槽式清洗机，单片清洗机，硅片清洗机  自动湿法清洗台   晶片清洗机   晶圆清洗机   湿法腐蚀机   SC-2清洗机   碱液清洗机   RCA清洗机   去胶清洗机   酸洗清洗机。高纯化学品/研磨液供应回收系统及工程，公司核心产品12寸全自动晶圆化学镀设备，12寸全自动炉管/ Boat /石英清洗机已占据行业领·先地位，已经成功取得长江存储 ，中芯国·际，重庆华润，上海华虹，上海积塔，上海格科，广东粤芯，青岛芯恩，厦门士兰，南通捷捷，湖南楚微等主流8寸12寸Fab产线订单，我们致力于为合作伙伴提供蕞佳的工艺及设备解决方案。