【晶圆清洗机】工业清洗的分类3

【晶圆清洗机】工业清洗的分类3

三、【晶圆清洗机】 根据清洗媒介的不同分为：
湿式清洗和干式清洗
1.一般将在液体介质中进行的清洗称为湿式清洗，传统的清洗方式大多为湿式清洗。 　　
2.在气体介质中进行的清洗称为干式清洗，如激光清洗、紫外线清洗、等离子清洗、干冰清洗等， 　　
3. 电子清洗法(电子除垢、防垢) 
4．静电清洗法（静电防垢、除垢）
四、 主要金属材料的特性　
（1） 抵抗酸、碱、盐等腐蚀的合金钢的总称。其中主要是含铬的合金钢。铬加入后，使钢具有高的耐腐蚀性。此外，铬钢中加入镍、钼、钛、锰、氮等元素，可以改善其耐腐蚀性和工艺性能。不锈钢中含铬量一般不低于12%。常见的有铬不锈钢（含铬12%或更多）和镍铬不锈钢（含铬12%和镍8%）两大类。 　　
（2） 铸铁是含碳大于2%的铁碳合金，并含有锰、硅与少量磷和硫，性脆而硬，无延展性。 　　
（3） 碳钢又称碳素钢，其含碳量0。04-2%，按含碳量的多少可分为低碳钢、中碳钢或高碳钢。 　　
（4） 铜合金。铜是具有良好延展性的有色金属。质软、导电、导热性良好。铜与其它金属能形成很多性能很好的合金，如青铜（含铜80%，锡15%，锌5%），黄铜（含铜60-90%，锌40-10%），容易加工，许多机械零件都是黄铜制造的。 　　

（5） 铝合金。铝是轻金属，有较好的延展性。铝在空气中易被氧化，表面上生成一层致密的氧化膜，可起自身保护作用。铝与很多金属能够生成合金，比重小，强度大，广泛用于各种工业。

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