晶片清洗机厂家介绍晶圆制造流程是怎样的？（五）

晶片清洗机厂家介绍晶圆制造流程是怎样的？（五）

5、离子注射

在真空环境下经过离子注射，将光刻的晶圆电路里注入导电材料，晶片清洗机厂家介绍基本上每次光刻后都要进行离子注射。

6、电镀、抛光、晶圆切片

晶片清洗机厂家介绍离子注射完成后，要在晶圆上电镀一层硫酸铜，然后打磨抛光Wafer表面，蕞后将Wafer切成，单个晶圆Die（裸片）。

芯矽科技是一家高新技术企业、专·业半导体湿法设备制造公司，主要提供实验室研发级到全自动量产级槽式清洗机，单片清洗机，硅片清洗机   自动湿法清洗台   晶片清洗机   晶圆清洗机   湿法腐蚀机   SC-2清洗机   碱液清洗机   RCA清洗机   去胶清洗机   酸洗清洗机。高纯化学品/研磨液供应回收系统及工程，公司核心产品12寸全自动晶圆化学镀设备，12寸全自动炉管/ Boat /石英清洗机已占据行业领·先地位，已经成功取得长江存储 ，中芯国·际，重庆华润，上海华虹，上海积塔，上海格科，广东粤芯，青岛芯恩，厦门士兰，南通捷捷，湖南楚微等主流8寸12寸Fab产线订单，我们致力于为合作伙伴提供蕞佳的工艺及设备解决方案。