该如何选择超声波硅片清洗机的频率呢？（四）　

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硅片清洗机清洗介质的黏度越大，越不易产生空穴，其空化阈值也越大。清洗介质的蒸汽压对产生空化作用也有影响。只有在清洗介质的局部压力小于清洗介质本身的蒸汽压时才会产生空化。温度对清洗介质的蒸汽压、表面张力、黏度都有影响，所以也对空化作用产生影响，当温度达到沸点时将不再产生空化。

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