硅片清洗机中硅片的清洗方法

                             硅片清洗机中硅片的清洗方法

① 硅片清洗机刷指导洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。

② 硅片清洗机高压清洗：是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用，靠调节喷嘴到片子的距离专、角度或加入防静电剂加以避免。

③ 硅片清洗机超声波清洗：超声波声能传入溶液,靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是属,从有图形的片子上除去小于 1微米颗粒则比较困难。将频率提高到超高频频段，清洗作用更好。

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