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【硅片清洗机】中得出什么结论

发布日期:2021-08-17 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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硅片清洗机】中得出什么结论

      硅片的清洗在半导体制作过程中很重要,而磨片的清洗是所有清洗工序中很困难的。由于使用了硅片超声波清洗机,通过物理渗透作用,使污染颗粒脱离硅片表面,再通过超声波清洗的机械作用和化学腐蚀作用,终去除污染颗粒,达到了清洗硅片的目的。

硅片


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