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【硅片清洗机】的检查内容

发布日期:2021-03-04 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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硅片清洗机】的检查内容



要准确得评估一台清洗机的性能,一定要测试清洗机的每一层。清洗架是很重要的设备,具有必须准确执行的可移动部件和结构。除顶层和底层外,清洗架每层都有喷淋臂。连接到舱体底部和顶部的喷淋臂为顶部和底部搁架提供水和机械清洁动作,其它架层的喷淋臂具有相同的功能。清洗架上还有与供水管线对齐的连接口。

任一层喷淋臂或输水性能差异都会阻碍清洗机的功能和清洗作用。因此清洗机每一层的性能都有可能不同。仅测试一层不能对清洗机的整体性能进行真实评估。

硅片



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