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硅片清洗水槽的制作方法

发布日期:2020-05-10 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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                                                    硅片清洗水槽的制作方法

       【硅片清洗机】中的硅片清洗水槽,包括水槽箱体,清洗篮,所述清洗篮为中空结构,包括侧壁、中空位置和硅片槽位,其特征在于,还包括一种缓冲装置,所述缓冲装置包括橡胶垫板,所述橡胶垫板放置在所述水槽箱体上,所述橡胶垫板上设有缓冲块,所述缓冲块上放置所述清洗篮。

       在分插片过程中,硅片在接触硅片清洗篮槽底前先接触到缓冲保护装置上的缓冲块,缓冲块起到缓冲和隔绝的作用,避免了硅片在接触硅片篮槽底瞬间受到的冲击力,对硅片的端面起到很好的保护作用,从而有效避免了硅片崩缺、硅粉脱落、隐裂等缺陷的产生,具有结构简单、成本低,且工作方便、快捷的优点。

硅片

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