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硅片清洗机的维护

发布日期:2020-05-08 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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硅片清洗机】的维护

硅片在清洗过程中,如发现硅片表面颗粒跟金属沾污超标,则需进行如下处理:


1、将各槽中原液排干,用DI水将槽子冲洗一次,然后将槽中水排尽;


2、加入少许(lgallon)DI水,然后加入lgal- lonH2O2,再加入少许DI水,然后加工入lgallonNH4OH,再加DI水到槽满。如果是工艺槽,则让混合液循环2h,否则静置2h;


3、将槽中液排尽,用DI水再次冲洗槽子一次,将槽液排尽;


4、重新对清洗设备进行测试。


5、如果工作过程中遇到的问题,请咨询芯矽科技。


硅片

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