特殊化学品供应与回收工程
供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子 
供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案
供应高纯度化学品以显影芯片图案

供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物

供应高纯度化学品以研磨芯片

供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件

操作安全:腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑

化学品零污染:与化学品接触部份完全与化学品兼容

微粒子控制:过滤器循环过滤

满足最大需求流量:高浓度化学品如H2SO4H3PO4

自动控制操作运转:系统单元与机台界面自动化

取样分析:系统、管路之粒子数、金属离子取样分析

泄漏警报:侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO)

系统诊断:PumpFilter Valve运转时数

维修保养管路       化学品用量统计
Auto Purge/Flush 功能

半导体设备行业探索者

公司坚持“诚信经营,顾客至上”为满足顾客需求不断创新发展,使产品成为高性价比,高效率,高精度。携手公司内部及国外技术专家和技
术骨干的集体智慧,研发更为完善的产品。